太阳能光伏硅片清洗设备-苏州润玺

泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量纯（ppt 级别）的干湿化学品，太阳能光伏硅片清洗设备选择，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。其中，各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备，太阳能光伏硅片清洗设备供应商，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。

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