




为什么零部件需要去除油污:减少部件表面上的离子杂质。满足容器排气(outgassing)性能的测试 (由第三方实验室检测).此测试检测出了在真空下嵌入金属表面的有机材料的数量和成分。如果测试中的数量太大,则意味着终的加工设备很难将容器真空至全真空状态。815 gd 在这些测试中都有的表现, 主要表现为的清洁能力以及测试中未发现清洗剂的残留。

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一种半导体氧化设备,其配有:由室壁界定的可密封氧化室;设置于氧化室内,并用来支撑半导体样品的基座;用于向所述氧化室供应对所述
半导体样品的特定部分进行氧化的水蒸汽的供应部分;监测窗,半导体氧化设备供应商,其设置于所述氧化室的室壁之一内,滁州半导体氧化设备,并且设置于能够面对支撑于所述基座上的所述半导体样品的位置处;监测部分,其设置于所述氧化室之外,并且能够经由所述监测窗面对支撑于所述基座上的半导体样品;以及调整所述基座和所述监测部分之间的距离的调整部分。
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